半導体チップは情報技術の中核を成すものであり、各国が開発を競っている重要な新興技術および産業です。ウエハースシリコンは、半導体チップ製造の基礎材料として、中国の半導体産業の発展において非常に重要な役割を果たしています。ウェハ生産能力において、中国は既に世界をリードしていますが、世界的な「チップ不足」が深刻化するにつれて、生産能力の拡大はさらに加速するでしょう。
1. プロジェクトの背景
国内半導体産業上場グループの子会社であり、国内電子情報材料産業のリーディングカンパニーとして、半導体材料、電子特殊材料、半導体デバイスなどの技術の研究開発、製造に注力しています。主力製品は半導体ゾーンメルティング単結晶シリコンウェーハで、世界トップ3の総合力と国内市場シェアを誇ります。80%以上.
生産能力の拡大を加速するため、同社は江蘇省宜興市に約30億ドルを投資し、集積回路用大口径シリコンウェーハ生産・製造プロジェクトの建設に着手しました。プロジェクトの第2期は2021年に開始され、「インダストリー4.0」の先進的なコンセプトに基づき、全ラインにインテリジェント製造を導入し、工場の自動化、情報化、インテリジェント化を実現する予定です。完成後の生産能力は、8インチエピタキシャルウェーハ22万枚／月、12インチ研磨ウェーハ20万枚／月、12インチエピタキシャルウェーハ15万枚／月となり、世界的に優位性のあるシリコンウェーハ生産拠点となります。そのため、グループのインテリジェント倉庫管理においては、ROBOTECHは、高度なインテリジェント倉庫システムを導入することで、生産拠点のインテリジェンス、情報化、自動化レベルを向上させました。.
2. プロジェクトpランニング
ROBOTECHは生産拠点の6メートルの垂直スペースを最大限に活用し、4レーンボックス型自動倉庫半導体ウェハ製品にアクセスするためのもので、合計で2000の収納スペース, ウェーハの保管容量を効果的に増加ウエハーはシート状であるため、そのキャリアはウエハーへのアクセスを容易にするために特別にカスタマイズされた330 * 330 * 300の透明プラスチック容器を採用しており、最大荷重は50kgです。従来の倉庫における複雑なウェハ保管プロセスと限られたスペース利用の問題を解決し、スペース利用と効率の二重の改善を実現しました。
• ゼブラシリーズスタッカークレーンシステム
• 100m/分、24時間生産リズム、1サイクルあたり63P/時
効率的な運用の観点から、ROBOTECHはゼブラシリーズスタッカークレーンシステム水平速度が100m/分を満たす24時間生産リズム生産拠点の、そして保管効率は1サイクルあたり63P/時.
3. 挑戦を恐れず、カスタマイズされたイノベーション
•E防塵・耐衝撃性を確保
•非標準カスタマイズ
•U超音速センサー装置
•Tキャリアは棚とフォークに5度の角度で置かれます
チャレンジ1
半導体ウェハの保管特性は防塵・耐衝撃性を確保そうでなければ、壊れやすいウエハーに損傷を与えてしまう可能性があります。これを踏まえ、ROBOTECHはスタッカークレーンの機械構造を改良し、非標準カスタマイズ例えば、従来のレールの代わりにアルミニウム合金製の地上レールが使用され、鋼製の柱の代わりに高強度冷間引抜アルミニウム合金製の柱が使用され、鋼製の車輪の代わりにゴムで覆われた車輪が使用され、鋼製のワイヤーロープによる吊り上げの代わりにタイミングベルトによる吊り上げが使用され、貨物プラットフォームに防塵カバーが追加されます。設備設計の初期段階から、粉塵や振動による製品への影響を最小限に抑え、粉塵のない作業場での汚染リスクを軽減しました。歩留まりが向上し、清浄度はクラス1000の環境要件を満たすことができます。
チャレンジ2
ウェーハキャリアの透明なプラスチックボックスのため、従来の光電センサーは貨物の検出に使用できません。ROBOTECHは革新的な設計を採用し、超音波センサー装置貨物検知システムでは、棚やパレット上の商品の状態を自動検知します。カメラとモバイル操作画面を搭載し、工程全体を通してすべての資材の正確な可視化と追跡を実現するとともに、トラブルシューティングや不具合の解決をより簡便に行うことができます。
チャレンジ3
ウェハがキャリアから滑り落ちるのを防ぐために、キャリアは棚とフォークに5度の角度で置かれますウェーハボックスの底部スロットを、空中貨物プラットフォームを積み重ねて保管するための専用工具の3つの位置決めピンに挿入することで、高精度の位置決めと安定したフォークを実現しました。繰り返しのテストを経て、最終的な位置決め精度は± 2mm、そしてフォークの滑らかさは99.99%さらに、この装置はさまざまな連動装置を採用しており、全体的な安定性と安全係数.
自動倉庫ソリューションの専門家として、ROBOTECHはインテリジェントな物流ソリューションを構築してきました先進的な設備と包括的なシステムに基づき、無公害でリアルタイムに追跡可能なウエハ材料を提供します。
このプロジェクトの成功は半導体ウェーハ自動保管における効果的なブレークスルー、また、ROBOTECHが半導体分野に正式に参入半導体企業にインテリジェントな物流自動化ソリューションを提供します。ROBOTECHは今後も、業界知識の探求と蓄積、リソースの活用向上、そして全体的な効率向上を実現していきます。
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投稿日時: 2023年4月11日
